美國MKS INSTRUMENTS成立于1961年，作為半導體零部件的供應商，在氣體、真空儀器及制程控制應用等方面有技術*到之處，美國MKS INSTRUMENTS產(chǎn)品起源于壓力測量和控制核心技術，延伸到材料遞送、氣體成分分析、靜電荷控制、工藝控制、信息管理、電源和反應氣體發(fā)生器及真空技術，其產(chǎn)品廣泛地應用于各種半導體生產(chǎn)設備和制造過程中?！∶绹?b>MKS INSTRUMENTS電源、測量、控制和復雜氣體相關的工藝監(jiān)控技術等改進了設備的完好率和產(chǎn)品成品率，提高了生產(chǎn)產(chǎn)量和產(chǎn)品性能．
　　美國MKS INSTRUMENTS目前產(chǎn)品主要包括：壓力測量和控制系列的電容薄膜壓力傳感器、模擬和數(shù)字壓力控制儀器和閥等提供半導體工藝上、下游壓力控制設備；質量流量控制器測量和控制半導體工藝中各種高純度、高精度氣體流量；射頻、直流及脈沖等離子電源、匹配器及測試工具為半導體工業(yè)提供了可靠的固態(tài)電源；STEXI系列產(chǎn)品提供諸如用于工藝腔清潔的ASTRON氟離子發(fā)生器，用于去膠工藝的R*EVOLUTION等離子源，用于CVD、ALD和清洗的SEMOZON氣態(tài)和LIQUOZON液態(tài)臭氧發(fā)生器；另外美國萬機儀器MKS NSTRUMENTS還提供更廣泛的真空產(chǎn)品、氣體分析儀、靜電控制、控制及信息技術等系列解決方案。


美國MKS 主要產(chǎn)品：MKS流量計,MKS薄膜真空計,MKS傳感器,MKS開關,MKS壓力傳感器,MKS真空硅,MKS發(fā)生器,MKSMKS氟離子/臭氧反應氣體發(fā)生器,MKS壓力控制閥